TFDS-462B – установка для осаждения практически любых тонких пленок методами термического испарения, с возможностью дооснащения различными опциями и непревзойденным соотношением цена/возможности. В качестве источников в камере можно использовать магнетроны, термические источники, электронно-лучевую пушку, ионный источник. Применение: обучение, исследования и разработки, мелкосерийное производство.
Рабочая камера |
Рабочая камера из нержавеющей стали, водоохлаждаемая, с фронтальной дверью на петлях, со смотровыми окнами. Возможные типы: прямоугольная, D-формы, камера типа колпак, камера для встройки в лицевую панель чистой комнаты и др. Дополнительные порты для будущего оснащения камеры. Легкосъемные экраны от запыления на стенках и двери. |
Электронно-лучевое испарение |
Электронно-лучевая пушка. Имеет специальную конструкцию для предотвращения взаимного загрязнения материалами из разных тигелей между собой. Автоматическая индексация тигелей/карманов. Заслонка с пневмоприводом. |
Термическое испарение |
До 4-х термических источников. |
Подложки |
Номинальный диаметр – до 152 мм. Возможность вращения и вертикального перемещения. Устройство нагрева подложек до температуры 1500 С. Любой тип крепления. Измерение толщины пленок в процессе. |
TFDS-462T с камерой колпакового типа из стали или "пирекса"